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我司提供Microsense精密電容傳感器，Microsense振動樣品磁強計 Microsense磁光克爾效應(yīng)工具等產(chǎn)品，如您需要咨詢及采購相關(guān)產(chǎn)品，請直接通過網(wǎng)站聯(lián)系方式咨詢我們。MicroSense專注于精密測量。
MicroSense的電容式傳感器業(yè)務(wù)由Robert C. Abbe于1967年創(chuàng)立，最初是ADE公司的一部分。ADE公司以其富有遠(yuǎn)見和新穎的高分辨率、非接觸式測量方法而聞名，適用于要求苛刻的尺寸測量應(yīng)用。隨著時間的推移，ADE成長為世界領(lǐng)先的裸半導(dǎo)體晶圓測量工具供應(yīng)商。用于位置和位移測量的高分辨率電容式傳感器（也稱為“蓋規(guī)”）成為“ADE”和MicroSense的商標(biāo)名稱“MicroSense”的代名詞。
MicroSense提供基于專利電容傳感技術(shù)的電容式傳感器和OEM計量模塊，對精密產(chǎn)品進行非常精確的高帶寬測量，如太陽能晶圓、藍(lán)寶石晶圓、硬盤驅(qū)動器電機、空氣軸承主軸、精密X-Y平臺、光盤、汽車零件和機床。MicroSense的電容式位移傳感器提供業(yè)內(nèi)最高的分辨率，小于0.05納米，具有出色的穩(wěn)定性和幾乎無限的使用壽命。
屢獲殊榮的磁性測量工具，MicroSense磁性計量業(yè)務(wù)始于25年前的數(shù)字測量系統(tǒng)（DMS），自1997年以來一直作為ADE技術(shù)的一部分。MicroSense擁有世界一流的磁力測量專家團隊，是用于磁性測量的高靈敏度振動樣品磁力計的領(lǐng)先供應(yīng)商。MicroSense的振動樣品磁力計有多種型號可供選擇，具有各種功能、場范圍、分辨率和選項。MicroSense的VSM系統(tǒng)用于全球最負(fù)盛名的磁性實驗室的基礎(chǔ)磁性研究，包括學(xué)術(shù)和商業(yè)領(lǐng)域。還提供一系列在線生產(chǎn)磁性計量工具，以滿足當(dāng)今快速發(fā)展的硬盤存儲系統(tǒng)的制造嚴(yán)格要求。2012年，MicroSense推出了世界上第一個用于MRAM晶圓開發(fā)和制造的300毫米非接觸式磁特性測量工具。
用于晶圓尺寸測量的創(chuàng)新工具MicroSense提供高靈敏度晶圓測量工具，用于表征藍(lán)寶石，碳化硅和各種類型的半導(dǎo)體晶圓。MicroSense于2012年<>月收購了亞利桑那州坦佩的SigmaTech，Inc.。通過此次收購，MicroSense在其創(chuàng)新計量解決方案組合中增加了領(lǐng)先的晶圓檢測工具。SigmaTech系統(tǒng)集成了多種傳感技術(shù)，如光譜法、干涉法和SigmaTech的專利自動定位背壓（APBP）技術(shù)。
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非接觸式位置測量，在短距離范圍內(nèi)具有高分辨率
MicroSense的電容式傳感器提供任何市售電容式傳感器中最低的噪聲性能，可實現(xiàn)納米甚至皮米分辨率。提供多種類型的傳感器 - 這些“特定應(yīng)用”電容式位置傳感器針對高穩(wěn)定性和線性度或最高測量帶寬進行了優(yōu)化，以實現(xiàn)快速響應(yīng)。
所有 MicroSense 精密電容式傳感器均具有：
完全非接觸式電容式位置測量 - 最精確的電氣傳感技術(shù)
檢測任何導(dǎo)電、接地的目標(biāo) – 表面光潔度或材料對精度沒有影響
針對短測量范圍進行了優(yōu)化 – 10 微米至 4 毫米，具體取決于傳感器尺寸
MicroSense低噪聲優(yōu)勢 - 位置傳感器具有納米分辨率、高穩(wěn)定性和無與倫比的精度
非常適合非接觸式位移測量和短距離尺寸測量，從 ± 5 微米到 ± 2 毫米。
高精度 – 0.02% 滿量程線性度典型值，無周期誤差或遲滯
與任何接地的導(dǎo)電靶材一起使用 - 材料或表面光潔度對精度沒有影響
非常穩(wěn)定 – 傳感器頭的散熱基本為零
易于設(shè)置的電容式位置傳感器MicroSense 的電容式位置傳感器使用單個傳感器來檢測接地的導(dǎo)電目標(biāo) - 比雙傳感器設(shè)計緊湊得多。MicroSense 4810 包括一個緊湊型電子模塊（解調(diào)器），帶有用于模擬傳感器輸出的連接。檢測目標(biāo)的傳感器頭或探頭通過 3 米長的電纜連接到電子模塊。包括一個低噪聲電源。
MicroSense的 2800 系列探頭提供各種傳感器尺寸，以滿足您的確切性能要求。
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)±通過前面板上的 BNC 插孔提供 10 V 模擬輸出，可輕松連接到示波器、頻譜分析儀或基于計算機的 A/D 板。
易于讀取的前面板儀表簡化了探頭設(shè)置。
還提供 4800 型 3U 歐洲卡機架安裝版本。
精密電容式位置傳感器 – 8810 型MicroSense 8810 型是一款非接觸式精密位置傳感器。8810 專為實現(xiàn)最佳線性度和穩(wěn)定性而設(shè)計，測量帶寬高達(dá) 20 kHz，是伺服系統(tǒng)位置反饋和快速工具伺服應(yīng)用的理想選擇。
新型號采用超低噪聲設(shè)計、亞納米分辨率，并增加測量帶寬以實現(xiàn)快速響應(yīng)。
非常適合非接觸式位移測量和短距離尺寸測量，從 ± 5 微米到 ± 2 毫米。
高精度 – 0.02% 滿量程線性度典型值，無周期誤差或遲滯
與任何接地的導(dǎo)電靶材一起使用 - 材料或表面光潔度對精度沒有影響
非常穩(wěn)定 – 傳感器頭的散熱基本為零
MicroSense 8810 包括一個緊湊型電子模塊（解調(diào)器），帶有用于模擬傳感器輸出的連接。檢測目標(biāo)的傳感器頭或探頭通過 3 米長的電纜連接到電子模塊。包括一個低噪聲電源。
使用MicroSense的 SpinCheck 主軸計量系統(tǒng)和非接觸式電容式位移傳感器測量和分析主軸和電機性能
SpinCheck 系統(tǒng)包括臺式電腦、數(shù)據(jù)采集和計時板、全面的 SpinCheck 測量和分析軟件以及相關(guān)的電纜和附件。SpinCheck 測量并存儲所有數(shù)據(jù)，以供分析、顯示、打印或存儲以備將來使用。
精確測量任何旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的誤差運動
設(shè)計用于與MicroSense的非接觸式精密電容式傳感器配合使用，可提供納米級分辨率。
先進的專利異步采樣技術(shù)可準(zhǔn)確測量周期性和非周期性誤差。
測量隨時間和頻率變化的參數(shù)
提供多達(dá) 6 個測量通道
預(yù)設(shè)限值的生產(chǎn)模式測試
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